3D process technology

著者

• Garrou, Philip E.
• Koyanagi, Mitsumasa
• Ramm, Peter

書誌事項

3D process technology

edited by Philip Garrou, Mitsumasa Koyanagi and Peter Ramm

（Handbook of 3D integration, v. 3）

Wiley-VCH, c2014

• hbk.

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB18909379
• ISBN:
  • 9783527334667
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim, Germany
• ページ数/冊数: xxii, 451 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • DC23 : 621.3815
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits
  • LCSH : Integrated circuits -- Design and construction
  • LCSH : Silicon
  • LCSH : Three-dimensional imaging
• 親書誌ID:
  • BB18909233