Control of mobile-ion contamination in oxidation ambients for MOS device processing

著者

    • Mayo, Santos
    • Koyama, Richard Y.
    • Leedy, Thomas F.

書誌事項

Control of mobile-ion contamination in oxidation ambients for MOS device processing

Santos Mayo, Richard Y. Koyama and Thomas F. Leedy

（NBSIR, 77-1404）

U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards, 1978

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注記

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  • NBSIR

    U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB1906575X
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    [Washington, D.C.]
  • ページ数/冊数
    iii, 43 p.
  • 大きさ
    27 cm
  • 親書誌ID
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