ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策

著者

• 宮本, 公明 ミヤモト, キミアキ

書誌事項

ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策

宮本公明著

（一発必中シリーズ, 3）

サイエンス&テクノロジー, 2015.7

タイトル読み

ダイ トフ ノ リュウドウ リロン ト トフ ケッカン メカニズム ヘ ノ オウヨウ オヨビ タイサク

注記

参考文献: p96-97

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB19145724
• ISBN:
  • 9784864281218
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 97p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BB09816969