Reliability of MEMS : testing of materials and devices

著者

• 土屋, 智由 ツチヤ, トシユキ
• 田畑, 修 タバタ, オサム

書誌事項

Reliability of MEMS : testing of materials and devices

edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya

（Advanced micro & nanosystems）

Wiley-VCH, c2013

注記

Includes bibliographical references and index

"First edition 2007"--t.p.verso

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB19673019
• ISBN:
  • 9783527335015
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xx, 303 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC22 : 621
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Reliability
• 親書誌ID:
  • BA70371204