表面進行波を利用した極微細線加工法に関する基礎的研究
著者
書誌事項
表面進行波を利用した極微細線加工法に関する基礎的研究
[出版者不明], 1989.3
- タイトル別名
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昭和63年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書
- タイトル読み
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ヒョウメン シンコウハ オ リヨウ シタ キョクビサイセン カコウホウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
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注記
課題番号: 62550093
研究分担者: 妹尾充史