表面進行波を利用した極微細線加工法に関する基礎的研究

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表面進行波を利用した極微細線加工法に関する基礎的研究

森敏彦 [ほか著]

[出版者不明], 1989.3

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昭和63年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書

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ヒョウメン シンコウハ オ リヨウ シタ キョクビサイセン カコウホウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ

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Note

課題番号: 62550093

研究分担者: 妹尾充史

Details

  • NCID
    BB19750787
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [名古屋]
  • Pages/Volumes
    16p
  • Size
    26cm
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