ダブルプラズマ法による機能性薄膜の作成

著者

• 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ

書誌事項

ダブルプラズマ法による機能性薄膜の作成

菅井秀郎 [ほか著]

[出版者不明], 1989.3

タイトル別名

昭和63年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

タイトル読み

ダブル プラズマホウ ニ ヨル キノウセイ ハクマク ノ サクセイ

注記

課題番号: 62880003

研究分担者: 豊田浩孝

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB19763734
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [名古屋]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 26cm