ダブルプラズマ法による機能性薄膜の作成

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ダブルプラズマ法による機能性薄膜の作成

菅井秀郎 [ほか著]

[出版者不明], 1989.3

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昭和63年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

Title Transcription

ダブル プラズマホウ ニ ヨル キノウセイ ハクマク ノ サクセイ

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Note

課題番号: 62880003

研究分担者: 豊田浩孝

Details

  • NCID
    BB19763734
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    eng
  • Place of Publication
    [名古屋]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    26cm
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