Advanced control of piezoelectric micro-/nano-positioning systems

著者

• Xu, Qingsong
• Tan, Kok Kiong

書誌事項

Advanced control of piezoelectric micro-/nano-positioning systems

Qingsong Xu, Kok Kiong Tan

（Advances in industrial control）

Springer, c2016

• hbk.

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB19910384
• ISBN:
  • 9783319216225
• 出版国コード: sz
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Cham
• ページ数/冊数: xx, 257 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC23 : 621.3815
• 件名:
  • LCSH : Piezoelectric devices
  • LCSH : Automatic control
  • LCSH : Expert systems (Computer science)
• 親書誌ID:
  • BA17234269