MEMS : fundamental technology and applications

著者

• Choudhary, Vikas
• Iniewski, Krzysztof

書誌事項

MEMS : fundamental technology and applications

edited by Vikas Choudhary, Krzysztof Iniewski

（Electronic devices, circuits, and systems / Michael M. Cirovic, James H. Harter）

CRC Press, c2013

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB2075642X
• ISBN:
  • 9781466515819
• LCCN: 2013001258
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton
• ページ数/冊数: xxii, 456 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC23 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Microelectronic packaging
  • FREE : MEDICAL / Biotechnology bisacsh
  • FREE : TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Circuits / General bisacsh
  • FREE : TECHNOLOGY & ENGINEERING / Nanotechnology & MEMS bisacsh
• 親書誌ID:
  • BA00859160