マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
（CMCテクニカルライブラリー, 570 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ）
シーエムシー出版, 2016.3
普及版
- Other Title
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Etching for micro/nano fabrication
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
マイクロナノデバイスのエッチング技術
新材料新素材シリーズ
- Title Transcription
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マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
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Note
2009年刊の普及版
文献: 章末, ほか
Description and Table of Contents
Table of Contents
- ウエットエッチング編（ウエットエッチングの基礎；シリコン結晶異方性エッチングの基礎；エッチピットおよびマイクロピラミッド発生メカニズム ほか）
- ドライエッチング編（ドライエッチングの基礎と各種パラメータの最適化；プラズマエッチングにおける表面反応機構；シリコン深堀エッチング ほか）
- エッチング技術の高機能化編（ウエハ回転方式によるシリコンエッチングの高精度均一化；電圧印加による等方性および異方性の制御；多段異方性エッチングによるエッチング形状の複雑化 ほか）
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