イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発

著者

• 難波, 進 ナンバ, ススム

書誌事項

イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発

研究代表者 難波進

大阪大学基礎工学部, 1988.3

タイトル別名

科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

タイトル読み

イオン ビーム ユウキ カガク コウカ ト マスクレス ウスマク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ

注記

[課題番号]: 61850005

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB21030361
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [豊中]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 26 cm