イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発

Author(s)

• 難波, 進 ナンバ, ススム

Bibliographic Information

イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発

研究代表者 難波進

大阪大学基礎工学部, 1988.3

Other Title

科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

Title Transcription

イオン ビーム ユウキ カガク コウカ ト マスクレス ウスマク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ

Note

[課題番号]: 61850005

• NCID: BB21030361
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [豊中]
• Pages/Volumes: 1 冊
• Size: 26 cm