イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発

Author(s)

Bibliographic Information

イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発

研究代表者 難波進

大阪大学基礎工学部, 1988.3

Other Title

科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書

Title Transcription

イオン ビーム ユウキ カガク コウカ ト マスクレス ウスマク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

[課題番号]: 61850005

Details

  • NCID
    BB21030361
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [豊中]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    26 cm
Page Top