極高真空・発生・計測・利用技術に関する調査報告書
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極高真空・発生・計測・利用技術に関する調査報告書
科学技術庁研究開発局, 1988.3
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キョッコウ シンクウ ハッセイ ケイソク リヨウ ギジュツ ニ カンスル チョウサ ホウコクショ
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注記
昭和62年度科学技術振興調整費