極高真空・発生・計測・利用技術に関する調査報告書

著者

• 科学技術庁研究開発局 カガク ギジュツチョウ ケンキュウ カイハツキョク

書誌事項

極高真空・発生・計測・利用技術に関する調査報告書

科学技術庁研究開発局, 1988.3

タイトル読み

キョッコウ シンクウ ハッセイ ケイソク リヨウ ギジュツ ニ カンスル チョウサ ホウコクショ

注記

昭和62年度科学技術振興調整費

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB21083131
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 303p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC8 : 534.93
  • NDLC : NB126
• 件名:
  • NDLSH : 真空工学
  • NDLSH : 真空計
  • NDLSH : 真空ポンプ