スパッタ法によるNa2O-AL2O3系ハイブリッド固体電解質薄膜の作成と評価
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スパッタ法によるNa2O-AL2O3系ハイブリッド固体電解質薄膜の作成と評価
(科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, ; 昭和62年度)
[大阪大学産業科学研究所], 1988.3
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スパッタホウ ニ ヨル NA2O Al2O3 ケイ ハイブリッド コタイ デンカイシツ ウスマク ノ サクセイ ト ヒョウカ
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[課題番号]: 61550577