これからのMEMS : LSIとの融合

著者

• 江刺, 正喜 エサシ, マサヨシ
• 小野, 崇人 オノ, タカヒト (1967-)

書誌事項

これからのMEMS : LSIとの融合

江刺正喜, 小野崇人共著

森北出版, 2016.6

タイトル別名

これからのMEMS : micro electro mechanical systems : LSIとの融合

タイトル読み

コレカラ ノ MEMS : LSI トノ ユウゴウ

注記

タイトルは奥付による

参考文献: p136-147

内容説明・目次

内容説明

ＭＥＭＳはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、ＭＥＭＳの今後の開発促進や有効利用をＭＥＭＳ研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのＭＥＭＳ」続編。

目次

• 第１章　ヘテロ集積化（ＭＥＭＳとＬＳＩの融合）
• 第２章　次世代携帯機器
• 第３章　センサネットワーク・高機能センサ
• 第４章　光マイクロシステム
• 第５章　バイオ・医療用マイクロシステム
• 第６章　製造・検査装置
• 第７章　高度化と有効活用への道

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB21515702
• ISBN:
  • 9784627775510
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: v, 151p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• 件名:
  • BSH : マイクロマシン