これからのMEMS : LSIとの融合
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書誌事項
これからのMEMS : LSIとの融合
森北出版, 2016.6
- タイトル別名
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これからのMEMS : micro electro mechanical systems : LSIとの融合
- タイトル読み
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コレカラ ノ MEMS : LSI トノ ユウゴウ
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注記
タイトルは奥付による
参考文献: p136-147
内容説明・目次
内容説明
MEMSはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用をMEMS研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのMEMS」続編。
目次
- 第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合)
- 第2章 次世代携帯機器
- 第3章 センサネットワーク・高機能センサ
- 第4章 光マイクロシステム
- 第5章 バイオ・医療用マイクロシステム
- 第6章 製造・検査装置
- 第7章 高度化と有効活用への道
「BOOKデータベース」 より