これからのMEMS : LSIとの融合

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Bibliographic Information

これからのMEMS : LSIとの融合

江刺正喜, 小野崇人共著

森北出版, 2016.6

Other Title

これからのMEMS : micro electro mechanical systems : LSIとの融合

Title Transcription

コレカラ ノ MEMS : LSI トノ ユウゴウ

Available at  / 85 libraries

Note

タイトルは奥付による

参考文献: p136-147

Description and Table of Contents

Description

ＭＥＭＳはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、ＭＥＭＳの今後の開発促進や有効利用をＭＥＭＳ研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのＭＥＭＳ」続編。

Table of Contents

  • 第１章　ヘテロ集積化（ＭＥＭＳとＬＳＩの融合）
  • 第２章　次世代携帯機器
  • 第３章　センサネットワーク・高機能センサ
  • 第４章　光マイクロシステム
  • 第５章　バイオ・医療用マイクロシステム
  • 第６章　製造・検査装置
  • 第７章　高度化と有効活用への道

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Details

  • NCID
    BB21515702
  • ISBN
    • 9784627775510
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    v, 151p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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