原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作

Author(s)

    • 大矢, 銀一郎 オオヤ, ギンイチロウ

Bibliographic Information

原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作

大矢銀一郎研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書, 昭和59年度）

[大矢銀一郎], 1985.3

Other Title

昭和59年度科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書 : (研究課題番号 58850073)

Title Transcription

ゲンシソウ エピタキシャル ホウ ニ ヨル サンカブツ タンケッショウ ハクマク イクセイ ノ タメ ノ セイギョ ソウチ ノ シサク

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Note

課題番号: 58850073

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Details

  • NCID
    BB21737431
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    50p
  • Size
    27cm
  • Parent Bibliography ID
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