ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜

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ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜

研究代表者 平木昭夫

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 昭和63年度）

大阪大学工学部, 1989.3

Title Transcription

ビーム ショウシャ ト ECR プラズマ トノ ヘイヨウホウ ニ ヨル リョウシツ ダイヤモンド ノ セイマク

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[課題番号]: 62460059

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Details

  • NCID
    BB21818384
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    26 cm
  • Parent Bibliography ID
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