Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application

著者

• Brand, Oliver
• Dufour, Isabelle
• Heinrich, Stephen M.
• Josse, Fabien

書誌事項

Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application

edited by Oliver Brand ... [et al.]

（Advanced micro & nanosystems）

Wiley-VCH, c2015

注記

Includes bibliographical references and index

Other editors : Isabelle Dufour, Stephen M. Heinrich, and Fabien Josse

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB21819252
• ISBN:
  • 9783527335459
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xxv, 483 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • DC23 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BA70371204