ミクロ複合型無機薄膜の微構造制御と特性評価に関する研究
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ミクロ複合型無機薄膜の微構造制御と特性評価に関する研究
(科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 平成元年度)
大阪大学産業科学研究所, 1990.3
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ミクロ フクゴウガタ ムキ ウスマク ノ ビコウゾウ セイギョ ト トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
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[課題番号]: 62470064