Ion implantation in semiconductors

著者

• Stievenard, D.
• Bourgoin, J. C.

書誌事項

Ion implantation in semiconductors

D. Stievenard, J.C. Bourgoin

（Diffusion and defect data : solid state data, Pt. B. solid state phenomena ; v. 1 & 2）

Sci-Tech Publications, [1988]

• : [pbk]

タイトル別名

Solid state phenomena

注記

"Focus -- Ion implantation in semiconductors"

"SSP"

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB22605414
• 出版国コード: lh
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Vaduz, Liechtenstein
• ページ数/冊数: v, 473 p.
• 大きさ: 25 cm
• 親書誌ID:
  • BA07841800