光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御

Author(s)

• 井川, 直哉 イカワ, ナオヤ

Bibliographic Information

光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御

研究代表者 井川直哉

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, ; 平成2年度）

大阪大学工学部, 1991.3

Title Transcription

コウセン キジュン ニ ヨル テーブル チョクシン ウンドウ セイド ノ ナノメータ ケイソク ト セイギョ

Note

[課題番号]: 01850032

Details

• NCID: BB23351344
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [吹田]
• Pages/Volumes: 1 冊
• Size: 26 cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN09452958