高密度集積回路の低エネルギー電子ビーム支援微細加工法に関する基礎的研究

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高密度集積回路の低エネルギー電子ビーム支援微細加工法に関する基礎的研究

研究代表者 藤岡弘

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 平成4年度）

大阪大学工学部, 1993.3

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コウミツド シュウセキ カイロ ノ テイエネルギー デンシ ビーム シエン ビサイ カコウホウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ

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[課題番号]: 03452181

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Details

  • NCID
    BB2340044X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    30 cm
  • Parent Bibliography ID
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