低速電子透過分光法による半導体ヘテロ界面のその場観察

著者

    • 長谷川, 繁彦

書誌事項

低速電子透過分光法による半導体ヘテロ界面のその場観察

研究代表者 長谷川繁彦

(科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 平成4年度)

大阪大学産業科学研究所, 1993.3

タイトル読み

テイソク デンシ トウカ ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ ヘテロ カイメン ノ ソノバ カンサツ

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注記

[課題番号]: 03452081

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB23405512
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [茨木]
  • ページ数/冊数
    1 冊
  • 大きさ
    30 cm
  • 親書誌ID
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