大型超高真空装置の設計と診断のための単一指向性真空計実用化に関する研究
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大型超高真空装置の設計と診断のための単一指向性真空計実用化に関する研究
[辻泰], 1985.3
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オオガタ チョウコウシンクウ ソウチ ノ セッケイ ト シンダン ノ タメ ノ タンイツ シコウセイ シンクウケイ ジツヨウカ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
昭和59年度科学研究費補助金(試験研究(1))研究成果報告書
課題番号: 58850015