走査型電子顕微鏡(SEM)による2次元表面粗さ計測とその応用に関する研究

Author(s)

• 佐藤, 寿芳 サトウ, ヒサヨシ

Bibliographic Information

走査型電子顕微鏡(SEM)による2次元表面粗さ計測とその応用に関する研究

研究代表者 佐藤壽芳

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書）

[佐藤壽芳], [198-]

Note

昭和57年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(課題番号56460074)

Details

• NCID: BB23440943
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [東京]
• Pages/Volumes: 23p.
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN0345591X