エキシマー・レーザーによる選択デポジションの基礎研究

著者

• 広瀬, 全孝 ヒロセ, マサタカ

書誌事項

エキシマー・レーザーによる選択デポジションの基礎研究

研究代表者 広瀬全孝

（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 昭和60年度）

[広島大学工学部], 1986.3

タイトル別名

エキシマーレーザーによる選択デポジションの基礎研究

タイトル読み

エキシマー レーザー ニ ヨル センタク デポジション ノ キソ ケンキュウ

注記

課題番号: 58420028

文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23482604
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東広島]
• ページ数/冊数: v, 55p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN04213993