LSI製造用自動パターン位置決め方式の研究

著者

• 大島, 康次郎 オオシマ, ヤスジロウ

書誌事項

LSI製造用自動パターン位置決め方式の研究

研究代表者 大島康次郎

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書）

[大島康次郎], [19--]

タイトル別名

昭和54年度科学研究費補助金一般B研究成果報告書

注記

課題番号:346097

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23491219
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 34p.
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN0345591X