光学的手法を用いた化合物半導体基板の評価とその特性改善に関する基礎的研究

著者

• 安達, 芳夫 アダチ, ヨシオ
• 生駒, 俊明 イコマ, トシアキ

書誌事項

光学的手法を用いた化合物半導体基板の評価とその特性改善に関する基礎的研究

研究代表者 安達芳夫、生駒俊明

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書）

[東京大学生産技術研究所], 1984.3

注記

昭和58年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(課題番号57460111)

安達芳夫:昭和57年度研究代表者/昭和58年度研究分担者

生駒俊明:昭和57年度研究分担者/昭和58年度研究代表者

• NII書誌ID(NCID): BB23500794
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 62p.
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN0345591X