電界蒸発機構による極微細接合・加工

著者

• 安田, 清和

書誌事項

電界蒸発機構による極微細接合・加工

研究代表者 安田清和

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, ; 平成4年度）

大阪大学工学部, 1993.4

タイトル読み

デンカイ ジョウハツ キコウ ニ ヨル ゴクビサイ セツゴウ カコウ

注記

[課題番号]: 03805063

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23548575
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BN03663735