低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発

Author(s)

• 蒲生, 健次 ガモウ, ケンジ

Bibliographic Information

低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発

研究代表者 蒲生健次

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, ; 平成4年度）

大阪大学基礎工学部, 1993.4

Title Transcription

テイソンショウ マスクレス 3ジゲン ビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ

Note

[課題番号]: 03555003

Details

• NCID: BB23579229
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [豊中]
• Pages/Volumes: 1 冊
• Size: 30 cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN09452958