Principles of lithography

著者

• Levinson, Harry J.

書誌事項

Principles of lithography

Harry J. Levinson

（SPIE Press monograph, PM198）

SPIE Press, c2010

3rd ed

注記

"SPIE Vol. No.: PM198"--Backcover

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23592588
• ISBN:
  • 9780819483249
• LCCN: 2010026775
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Wash.
• ページ数/冊数: xiv, 504 p., [4] p. of plates
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC22 : 621.3815/31
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Design and construction
  • LCSH : Microlithography
• 親書誌ID:
  • BA36743372