半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

Author(s)

• 岡崎, 信次 オカザキ, シンジ

Bibliographic Information

半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

岡崎信次監修

エヌ・ティー・エス, 2017.4

Title Transcription

ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ

Note

執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか

文献: 各節末

Details

• NCID: BB23688949
• ISBN:
  • 9784860434670
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: ii, x, 382, 12p, 図版vip
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• Subject Headings:
  • BSH : リソグラフィー
  • BSH : 半導体