半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

著者

• 岡崎, 信次 オカザキ, シンジ

書誌事項

半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

岡崎信次監修

エヌ・ティー・エス, 2017.4

タイトル読み

ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ

注記

執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか

文献: 各節末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23688949
• ISBN:
  • 9784860434670
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ii, x, 382, 12p, 図版vip
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• 件名:
  • BSH : リソグラフィー
  • BSH : 半導体