半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

Bibliographic Information

半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

岡崎信次監修

エヌ・ティー・エス, 2017.4

Title Transcription

ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ

Available at  / 40 libraries

Note

執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか

文献: 各節末

Details

  • NCID
    BB23688949
  • ISBN
    • 9784860434670
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    ii, x, 382, 12p, 図版vip
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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