半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

書誌事項

半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

岡崎信次監修

エヌ・ティー・エス, 2017.4

タイトル読み

ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ

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注記

執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか

文献: 各節末

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB23688949
  • ISBN
    • 9784860434670
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    ii, x, 382, 12p, 図版vip
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
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