光吸収を利用したリード・ボンディング用複層薄膜の界面反応の観察と制御

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光吸収を利用したリード・ボンディング用複層薄膜の界面反応の観察と制御

研究代表者 馬越佑吉

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 平成4、5年度）

大阪大学工学部, 1994.4

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ヒカリ キュウシュウ ヲ リヨウ シタ リード ボンディングヨウ フクソウ ハクマク ノ カイメン ハンノウ ノ カンサツ ト セイギョ

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[課題番号]: 04452281

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  • NCID
    BB23733817
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    30 cm
  • Parent Bibliography ID
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