光吸収を利用したリード・ボンディング用複層薄膜の界面反応の観察と制御

著者

• 馬越, 佑吉 ウマコシ, ユウキチ

書誌事項

光吸収を利用したリード・ボンディング用複層薄膜の界面反応の観察と制御

研究代表者 馬越佑吉

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 平成4、5年度）

大阪大学工学部, 1994.4

タイトル読み

ヒカリ キュウシュウ ヲ リヨウ シタ リード ボンディングヨウ フクソウ ハクマク ノ カイメン ハンノウ ノ カンサツ ト セイギョ

注記

[課題番号]: 04452281

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23733817
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BN0345591X