CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響
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CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響
(科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, ; 平成5年度)
大阪大学基礎工学部, 1994.3
- タイトル読み
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CVD ヒフクザイ ノ キョウド トクセイ ニ オヨボス ハクマクナイ ザンリュウ オウリョク ノ エイキョウ
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注記
[課題番号]: 03650063