CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

Author(s)

    • 三好, 良夫

Bibliographic Information

CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

研究代表者 三好良夫

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, ; 平成5年度）

大阪大学基礎工学部, 1994.3

Title Transcription

CVD ヒフクザイ ノ キョウド トクセイ ニ オヨボス ハクマクナイ ザンリュウ オウリョク ノ エイキョウ

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Note

[課題番号]: 03650063

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Details

  • NCID
    BB23817214
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [豊中]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    30 cm
  • Parent Bibliography ID
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