Micro-system technologies 98 : 6th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, December 1 - 3, 1998
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Micro-system technologies 98 : 6th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, December 1 - 3, 1998
VDE-Verl, 1998
- : hardcover
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注記
Includes bibliographical references and author's index (p. 751-756)