リソグラフィ技術その40年

Author(s)

• 岡崎, 信次 オカザキ, シンジ
• 田中, 初幸 タナカ, ハツユキ
• 花畑, 誠 ハナバタ, マコト
• 鴨志田, 洋一 カモシダ, ヨウイチ
• 野崎, 耕司 ノザキ, コウジ
• 渡邊, 健夫 ワタナベ, タケオ
• 関口, 淳 セキグチ, アツシ
• Mack, Chris A.
• 上野, 巧 ウエノ, タクミ

Bibliographic Information

リソグラフィ技術その40年

S&T出版, 2016.12

Title Transcription

リソグラフィ ギジュツ ソノ 40ネン

Note

参考文献: 章末

索引あり

Details

• NCID: BB24048261
• ISBN:
  • 9784907002633
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 143p
• Size: 30cm
• Classification:
  • NDLC : ND386
  • NDC9 : 549.7
• Subject Headings:
  • NDLSH : リソグラフィー