超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究

著者

• 岩崎, 裕

書誌事項

超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究

研究代表者 岩崎裕

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 平成4・5・6年度）

大阪大学産業科学研究所, 1995.3

タイトル読み

チョウクリーンクローズド ダジュウ シッシキ プロセス ソウチ ヲ モチイタ チョウジュンスイチュウ ノ シリコン ヒョウメン ジョウタイ ノ ケンキュウ

注記

[課題番号]: 04452092

• NII書誌ID(NCID): BB24056485
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [茨木]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BN0345591X