窒化物系誘電体膜に関する総合研究

著者

• 科学技術庁研究調整局 カガク ギジュツチョウ ケンキュウ チョウセイキョク

書誌事項

窒化物系誘電体膜に関する総合研究

科学技術庁研究調整局, 1979.7

タイトル読み

チッカブツケイ ユウデンタイマク ニ カンスル ソウゴウ ケンキュウ

注記

昭和50〜52年度特別研究促進調整費

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB24922655
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 136p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC6 : 549
  • NDLC : ND354
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : 窒化物