高輝度ビーム技術に関する総合研究報告書

著者

• 科学技術庁研究調整局 カガク ギジュツチョウ ケンキュウ チョウセイキョク

書誌事項

高輝度ビーム技術に関する総合研究報告書

科学技術庁研究調整局, 1979.10

タイトル読み

コウキド ビーム ギジュツ ニ カンスル ソウゴウ ケンキュウ ホウコクショ

注記

昭和50・51・52年度特別研究促進調整費

• NII書誌ID(NCID): BB24922702
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 118p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.9
  • NDLC : ND416
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 電子ビーム加工
  • NDLSH : 集積回路