光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

Author(s)

• 春名, 正光 ハルナ, マサミツ

Bibliographic Information

光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

研究代表者 春名正光

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, ; 平成6年度）

大阪大学医学部, 1995.4

Title Transcription

ヒカリ シュウセキ デバイスヨウ コウセイサイ レーザ ビーム ビョウガ ソウチ ノ シサク

Note

課題番号: 05555014

Details

• NCID: BB2515502X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: eng
• Place of Publication: [吹田]
• Pages/Volumes: 1 冊
• Size: 30 cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN09452958