光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

著者

• 春名, 正光 ハルナ, マサミツ

書誌事項

光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

研究代表者 春名正光

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, ; 平成6年度）

大阪大学医学部, 1995.4

タイトル読み

ヒカリ シュウセキ デバイスヨウ コウセイサイ レーザ ビーム ビョウガ ソウチ ノ シサク

注記

課題番号: 05555014

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB2515502X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BN09452958