Nanofabrication : principles to laboratory practice

著者

• Sarangan, Andrew

書誌事項

Nanofabrication : principles to laboratory practice

Andrew Sarangan

（Optical sciences and applications of light）

CRC Press, c2017

• : hbk

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB25204136
• ISBN:
  • 9781498725576
• LCCN: 2016008970
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton
• ページ数/冊数: xv, 299 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874.843
  • DC23 : 621.3815/31
• 件名:
  • LCSH : Nanolithography
  • LCSH : Nanostructured materials -- Design and construction
  • LCSH : Semiconductors -- Etching
  • LCSH : Nanoelectronics -- Experiments
• 親書誌ID:
  • BB18467226