表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測

著者

• 山内, 和人

書誌事項

表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測

研究代表者 山内和人

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, ; 平成7年度）

大阪大学工学部, 1996.4

タイトル読み

ヒョウメン コウキ デンリョク コウカ ヲ リヨウ シタ Si ヒョウメン カコウ ヘンシツソウ ノ コウカンド ケイソク

注記

課題番号: 06650143

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB25713989
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BN03663735