ナノインプリントの開発とデバイス応用

書誌事項

ナノインプリントの開発とデバイス応用

松井真二監修

(CMCテクニカルライブラリー, 641 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ)

シーエムシー出版, 2018.3

普及版

タイトル別名

Development of nanoimprint and device applications

ナノインプリントの開発とデバイス応用

タイトル読み

ナノインプリント ノ カイハツ ト デバイス オウヨウ

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注記

2011年刊の普及版

文献あり(主に各論文末)

内容説明・目次

目次

  • 総論
  • 第1編 転写方式(熱ナノインプリント;光ナノインプリント;室温ナノインプリント;ナノインプリントのシミュレーション技術)
  • 第2編 装置と関連部材(ナノインプリント装置;モールド;樹脂;離型剤(評価);離型不良・課題;ナノインプリントパターン評価)
  • 第3編 デバイス応用(光デバイス;電子デバイス;エネルギーデバイス;バイオデバイス)

「BOOKデータベース」 より

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB25723075
  • ISBN
    • 9784781312729
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    vii, 282p
  • 大きさ
    26cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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