レーザー蒸着法による半導体ダイヤモンド薄膜作製に関する研究

著者

• 森, 勇介

書誌事項

レーザー蒸着法による半導体ダイヤモンド薄膜作製に関する研究

研究代表者 森勇介

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, ; 平成7年度）

大阪大学工学部, 1996.3

タイトル読み

レーザー ジョウチャクホウ ニ ヨル ハンドウタイ ダイヤモンド ハクマク サクセイ ニ カンスル ケンキュウ

注記

課題番号: 06805030

• NII書誌ID(NCID): BB25871323
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BN03663735