レーザー蒸着法による半導体ダイヤモンド薄膜作製に関する研究

著者

    • 森, 勇介

書誌事項

レーザー蒸着法による半導体ダイヤモンド薄膜作製に関する研究

研究代表者 森勇介

(科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, ; 平成7年度)

大阪大学工学部, 1996.3

タイトル読み

レーザー ジョウチャクホウ ニ ヨル ハンドウタイ ダイヤモンド ハクマク サクセイ ニ カンスル ケンキュウ

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注記

課題番号: 06805030

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB25871323
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    [吹田]
  • ページ数/冊数
    1 冊
  • 大きさ
    30 cm
  • 親書誌ID
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