レーザー駆動マイクロマシン用ムーバの3次元ナノ構造形成システムの開発

著者

• 河田, 聡 カワタ, サトシ

書誌事項

レーザー駆動マイクロマシン用ムーバの3次元ナノ構造形成システムの開発

研究代表者 河田聡

（科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書, ; 平成7年度）

大阪大学大学院工学研究科, 1996.4

タイトル読み

レーザー クドウ マイクロ マシンヨウ ムーバ ノ 3ジゲン ナノ コウゾウ ケイセイ システム ノ カイハツ

注記

課題番号: 06555121

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB25941225
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BN06454458